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微波毫米波单片集成电路与模块国家级重点实验室基金(9140C1405020607)
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相关作者:
朱健
贾世星
陈辰
郁元卫
张勇
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南京电子器件研究所
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微波毫米波单片集成电路与模块国家级重点实验室基金
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朱健
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS 硅基 微机电系统 MEMS开关 键合
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贾世星
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS RF_MEMS开关 圆片级 圆片级封装 干法刻蚀
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陈辰
供职机构:东南大学
研究主题:高电子迁移率晶体管 ALGAN/GAN ALGAN/GAN_HEMT 氮化镓 4H-SIC
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郁元卫
供职机构:南京电子器件研究所
研究主题:毫米波 MEMS MEMS开关 RF_MEMS开关 MEMS移相器
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张勇
供职机构:南京电子器件研究所
研究主题:基片集成波导 MEMS K波段 硅 单片
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吴璟
供职机构:南京电子器件研究所
研究主题:MEMS 通孔 磁控溅射制备 磁控溅射 压应力
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侯芳
供职机构:南京电子器件研究所
研究主题:硅 W波段 硅基 MEMS 集成开关
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陆乐
供职机构:南京电子器件研究所
研究主题:高隔离度 MEMS开关 RF_MEMS开关 机电耦合 物理隔离
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王立峰
供职机构:南京电子器件研究所
研究主题:LPCVD 多晶硅 结构层 P
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姜理利
供职机构:南京电子器件研究所
研究主题:MEMS移相器 毫米波 MEMS KA波段 AU
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