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国家自然科学基金(51375400)

作品数：1 被引量：2H指数：1
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共 3 条 记 录，以下是 1-3
李晓莹
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 微细加工 微变形镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
虞益挺
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 锚点 光纤
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴焱
供职机构：西北工业大学
研究主题：衍射效率 可调 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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