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中国博士后科学基金(200902004)

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张海霞
供职机构：北京大学
研究主题：发电机 电极 MEMS 反应离子刻蚀 摩擦式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
方东明
供职机构：北京大学
研究主题：螺旋线圈 可调电感 微机电系统 电感量 静电驱动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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