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国家高技术研究发展计划(2003AA404090)

作品数：4 被引量：36H指数：3
相关作者：车录锋肖素艳王跃林李昕欣徐涌更多>>
相关机构：中国科学院华中科技大学更多>>
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相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

领域

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主题

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机构

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资助

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地区

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  • 3个上海市
  • 1个浙江省
共 9 条 记 录，以下是 1-9
车录锋
供职机构：浙江大学
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖素艳
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：铂薄膜电阻 聚酰亚胺 温度传感器阵列 温度传感器 柔性衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈四海
供职机构：华中科技大学
研究主题：氧化钒薄膜 半导体光放大器 偏振无关 氧化钒 衍射效率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪殿民
供职机构：华中科技大学光电子科学与工程学院光电子工程系
研究主题：柔性传感器 剪切应力 微机电系统 MOEMS 光学传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱福龙
供职机构：华中科技大学
研究主题：测量系统 隧道检测 隧道 移动台 封装测试
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
易新建
供职机构：华中科技大学
研究主题：微透镜阵列 红外探测器 红外焦平面阵列 微透镜 离子束刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐涌
供职机构：华中科技大学微系统研究中心
研究主题：剪切应力 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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