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国家自然科学基金(90207013)

作品数：4 被引量：10H指数：2
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地区

  • 10个北京市
共 10 条 记 录，以下是 1-10
张大成
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于晓梅
供职机构：北京大学
研究主题：红外焦平面阵列 悬臂梁 单片集成 平面阵列 微悬臂梁传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王小保
供职机构：北京大学
研究主题：单片集成 集成化 流量计 CMOS电路 大量程
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李婷
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
阮勇
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 继电器 刻蚀 微电子机械系统 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵涛
供职机构：北京大学
研究主题：CMOS电路 单片集成 大量程 流量计 集成化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜先锋
供职机构：北京大学
研究主题：MEMS器件 工艺技术 革命性 芯片级封装 体硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王小宝
供职机构：北京大学微电子学研究院
研究主题：悬臂梁 灵敏度 特性分析 阵列式 噪声
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张海涛
供职机构：北京大学
研究主题：单片集成 MEMS SOI 悬臂梁 集成化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王丛舜
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 残余应力 阈值电压 静电驱动 体硅工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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