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北京市科委基金(GYYKW05070013)
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富迪
陈豪
刘理天
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陈豪
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:医学超声成像 MEMS 硅 压电超声换能器 二维阵列
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富迪
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:医学超声成像 MEMS 硅 压电超声换能器 二维阵列
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杨轶
供职机构:清华大学
研究主题:电极 场效应晶体管 石墨烯 铁电薄膜 铁电
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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任天令
供职机构:清华大学
研究主题:铁电 电极 铁电薄膜 铁电存储器 PZT
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