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国家高技术研究发展计划(2002AA312260)
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安俊明
李健
王红杰
胡雄伟
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胡雄伟
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:阵列波导光栅 波导 硅基二氧化硅 AWG SIO
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安俊明
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:阵列波导光栅 波导 硅基二氧化硅 波导结构 AWG
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王红杰
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:阵列波导光栅 波导 硅基二氧化硅 SIO 火焰水解法
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李健
供职机构:上海交通大学
研究主题:虚拟机 波导 硅基二氧化硅 催化剂 乙二胺四乙酸
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李建光
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:波导 阵列波导光栅 硅基二氧化硅 火焰水解法 分束器
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夏君磊
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:波导 硅基二氧化硅 火焰水解法 折射率 双折射
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郜定山
供职机构:武汉光电国家实验室(筹)
研究主题:硅基二氧化硅 波导 火焰水解法 双折射 阵列波导光栅
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刘文平
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 传感器件 干法刻蚀技术 电阻温度系数 退火
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刘玉菲
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微电子机械系统 光学电流传感器 苯并环丁烯 高灵敏度 气密性封装
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吴亚明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
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