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湖南省科技计划项目(2010JT4038)

作品数：4 被引量：14H指数：2
相关作者：李幼真刘正陈勇民黄迪辉赵保星更多>>
相关机构：中南大学更多>>
发文基金：湖南省科技计划项目中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
相关领域：电子电信电气工程动力工程及工程热物理更多>>

领域

  • 6个一般工业技术
  • 5个电子电信
  • 4个动力工程及工...
  • 4个理学
  • 3个金属学及工艺
  • 3个电气工程
  • 3个自动化与计算...
  • 2个经济管理
  • 2个冶金工程
  • 2个文化科学
  • 2个自然科学总论
  • 1个生物学
  • 1个化学工程
  • 1个机械工程
  • 1个建筑科学
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个交通运输工程
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个环境科学与工...
  • 1个农业科学

主题

  • 7个阻挡层
  • 7个扩散阻挡层
  • 7个互连
  • 7个溅射
  • 7个磁控
  • 7个磁控溅射
  • 6个铜互连
  • 6个黏附性
  • 5个单晶
  • 5个单晶硅
  • 5个单晶硅太阳电...
  • 5个氮分压
  • 5个电池
  • 4个电路
  • 4个锭子
  • 4个直流磁控
  • 4个直流磁控溅射
  • 4个直流反应磁控...
  • 4个熔铸
  • 3个真空镀膜

机构

  • 7个中南大学
  • 1个长沙铁道学院
  • 1个中南工业大学
  • 1个信息产业部电...

资助

  • 7个湖南省科技计...
  • 5个国家自然科学...
  • 5个青年科技基金
  • 3个长沙市科技计...
  • 3个湖南省科技重...
  • 3个中央高校基本...
  • 2个国家高技术研...
  • 2个湖南省重大科...
  • 2个国家教育部博...
  • 1个国防科技技术...
  • 1个湖南省自然科...
  • 1个霍英东教育基...
  • 1个江西省材料科...
  • 1个教育部“优秀...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个高等学校教学...
  • 1个湖南省国际科...
  • 1个湖南省科技厅...
  • 1个霍英东基金
  • 1个霍英东青年教...

传媒

  • 5个材料导报
  • 5个功能材料与器...
  • 4个太阳能学报
  • 4个固体电子学研...
  • 4个真空科学与技...
  • 3个功能材料
  • 3个中国科学（E...
  • 3个中国有色金属...
  • 3个半导体光电
  • 3个TFC’07...
  • 2个应用科技
  • 2个物理学报
  • 1个分子科学学报
  • 1个粉末冶金技术
  • 1个电子科技
  • 1个量子电子学报
  • 1个科技通报
  • 1个系统工程
  • 1个稀有金属材料...
  • 1个物理通报

地区

  • 7个湖南省
共 7 条 记 录，以下是 1-7
李幼真
供职机构：中南大学物理与电子学院
研究主题：扩散阻挡层 TA 阻挡层 N 沉积速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘正
供职机构：中南大学
研究主题：扩散阻挡层 阻挡层 N 铜互连 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈海波
供职机构：中南大学物理与电子学院
研究主题：TA N 纳米 集成电路 扩散阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵保星
供职机构：中南大学
研究主题：直流反应磁控溅射 硅太阳能电池 磁控溅射 衬底 硅薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈勇民
供职机构：中南大学物理与电子学院
研究主题：衬底 硅薄膜 金属硅 太阳能电池 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄迪辉
供职机构：中南大学物理与电子学院
研究主题：磁控溅射 常压 CIS SICN 靶材
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周继承
供职机构：中南大学
研究主题：磁控溅射 计算机模拟 热脱脂 粉末冶金 硬质合金
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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