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国家自然科学基金(10676008)

作品数：42 被引量：140H指数：7
相关作者：刘玉岭牛新环刘效岩张伟檀柏梅更多>>
相关机构：河北工业大学天津理工大学石家庄经济学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金河北省教育厅科学技术研究计划更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺化学工程更多>>

领域

  • 57个电子电信
  • 28个金属学及工艺
  • 24个一般工业技术
  • 18个自动化与计算...
  • 17个电气工程
  • 15个化学工程
  • 9个环境科学与工...
  • 9个理学
  • 8个文化科学
  • 5个经济管理
  • 5个机械工程
  • 4个冶金工程
  • 4个建筑科学
  • 4个交通运输工程
  • 4个医药卫生
  • 2个哲学宗教
  • 2个动力工程及工...
  • 2个航空宇航科学...
  • 2个农业科学
  • 2个社会学

主题

  • 51个化学机械抛光
  • 51个机械抛光
  • 43个CMP
  • 42个抛光
  • 38个抛光液
  • 35个去除速率
  • 27个衬底
  • 27个粗糙度
  • 25个抛光速率
  • 22个磨料
  • 21个铜布线
  • 21个ULSI
  • 20个蓝宝
  • 20个蓝宝石
  • 19个面粗糙度
  • 19个蓝宝石衬底
  • 19个表面粗糙度
  • 18个电化学
  • 17个合金
  • 13个有机物

机构

  • 56个河北工业大学
  • 2个天津理工大学
  • 1个河北工学院
  • 1个北京理工大学
  • 1个上海交通大学
  • 1个石家庄经济学...
  • 1个天津大学
  • 1个华北工学院
  • 1个天津理工学院
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中北大学
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个中国人民政治...
  • 1个北京七星华创...
  • 1个天津医科大学...
  • 1个河北地质大学

资助

  • 58个国家自然科学...
  • 41个国家教育部博...
  • 23个天津市自然科...
  • 20个国家科技重大...
  • 19个河北省教育厅...
  • 12个国家中长期科...
  • 10个河北省自然科...
  • 9个河北省高等学...
  • 7个河北省教育厅...
  • 5个天津市科技攻...
  • 4个天津市重大科...
  • 3个博士后科研启...
  • 3个博士科研启动...
  • 3个河北省博士后...
  • 3个河北省科技计...
  • 3个河北省科技支...
  • 2个国家科技型中...
  • 2个教育部科学技...
  • 2个中国博士后科...
  • 2个天津市科技计...

传媒

  • 47个半导体技术
  • 33个微纳电子技术
  • 12个功能材料
  • 11个河北工业大学...
  • 10个第六届中国功...
  • 9个Journa...
  • 8个电子设计工程
  • 7个微电子学
  • 7个第六届中国国...
  • 6个稀有金属
  • 6个微细加工技术
  • 6个纳米科技
  • 5个稀有金属材料...
  • 5个天津科技
  • 5个计算机时代
  • 5个液晶与显示
  • 4个硅酸盐学报
  • 4个电镀与涂饰
  • 4个人工晶体学报
  • 4个微计算机信息

地区

  • 53个天津市
  • 3个河北省
  • 1个北京市
  • 1个山西省
共 58 条 记 录，以下是 1-10
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘效岩
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：化学机械抛光 CMP 晶片 工艺技术 硅片表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：卫星电源 化学机械抛光 CMP 太阳电池阵 空间电源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐文栋
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 硬盘基板 化学机械抛光 粗糙度 浆料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田军
供职机构：河北工业大学
研究主题：硬盘基板 CMP 粗糙度 计算机 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苏艳勤
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP ULSI 抛光液 表面粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王立发
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 粗糙度 硬盘基板 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武彩霞
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP 表面粗糙度 ULSI 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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