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国家自然科学基金(60278028)
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郝一龙
吴文刚
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郝一龙
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 微电子机械系统 硅 加速度计
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吴文刚
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 MEMS 悬臂梁 各向异性刻蚀 聚焦离子束
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栗大超
供职机构:天津大学
研究主题:MEMS 组织液 微机电系统 表面等离子共振 葡萄糖浓度
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胡小唐
供职机构:天津大学
研究主题:原子力显微镜 微机电系统 MEMS 微结构 扫描隧道显微镜
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徐安士
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尹冬青
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研究主题:层结构 ICON ELECTROSTATIC STRUCTURE SIL
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陈庆华
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袁勇
供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题:面向对象 逆向工程 JAVA语言 再工程 英文
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陈章渊
供职机构:北京大学
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闫桂珍
供职机构:北京大学
研究主题:锚点 微机械 微机械陀螺 陀螺 玻璃衬底
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