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国家自然科学基金(10875093)

作品数:36 被引量:75H指数:5
相关作者:马志斌曹为严垒沈武林汪建华更多>>
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发文基金:国家自然科学基金湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划项目更多>>
相关领域:理学化学工程核科学技术一般工业技术更多>>

领域

  • 26个化学工程
  • 26个理学
  • 13个核科学技术
  • 12个一般工业技术
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  • 7个电子电信
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主题

  • 28个金刚石膜
  • 22个等离子体
  • 22个气相沉积
  • 22个化学气相
  • 21个化学气相沉积
  • 20个金刚石
  • 20个刚石
  • 20个CVD金刚石...
  • 18个微波等离子体
  • 18个光谱
  • 17个发射光谱
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  • 11个等离子体化学...
  • 10个气相
  • 10个气相沉积法
  • 10个光谱诊断
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机构

  • 29个武汉工程大学
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  • 4个湖北省等离子...
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  • 1个上海交通大学
  • 1个武汉大学
  • 1个教育部
  • 1个中国科学院
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  • 1个武汉理工大学
  • 1个中国科学院合...

资助

  • 29个国家自然科学...
  • 8个湖北省高等学...
  • 6个湖北省自然科...
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  • 5个湖北省教育厅...
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  • 1个湖北省教育厅...
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传媒

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  • 8个硬质合金
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  • 6个光学学报
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  • 4个光电子.激光
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  • 4个材料导报
  • 4个科教文汇
  • 3个高等学校化学...
  • 3个无机化学学报
  • 3个激光与光电子...
  • 3个高压物理学报

地区

  • 29个湖北省
29 条 记 录,以下是 1-10
马志斌
供职机构:武汉工程大学材料科学与工程学院
研究主题:金刚石薄膜 金刚石 微波等离子体化学气相沉积 化学气相沉积 单晶金刚石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹为
供职机构:武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室
研究主题:发射光谱 MPCVD 微波等离子体 光谱研究 等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严垒
供职机构:武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室
研究主题:单晶金刚石 金刚石 微波等离子体 化学气相沉积 CVD金刚石膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪建华
供职机构:武汉工程大学
研究主题:化学气相沉积 金刚石薄膜 金刚石膜 微波等离子体 金刚石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈武林
供职机构:武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室
研究主题:ECR等离子体 离子温度 刻蚀 化学气相 金刚石膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李国伟
供职机构:武汉工程大学材料科学与工程学院
研究主题:MPCVD 等离子体 CVD金刚石 刻蚀 金刚石膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高攀
供职机构:武汉工程大学
研究主题:微波等离子体化学气相沉积 金刚石 单晶金刚石 微波等离子体 化学气相沉积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴俊
供职机构:武汉工程大学
研究主题:离子温度 ECR等离子体 金刚石膜 刻蚀 离子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭必松
供职机构:武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室
研究主题:ECR等离子体 CVD金刚石膜 刻蚀 离子温度 磁镜场
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
潘鑫
供职机构:武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室
研究主题:CVD金刚石 刻蚀 ECR ECR等离子体 CVD金刚石膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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