您的位置： 专家智库 > >

国家科技重大专项(2008ZX02501-009)

作品数：4 被引量：22H指数：3
相关作者：李艳秋刘克杨光华吴少雄张恨更多>>
相关机构：北京理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项教育部长江学者奖励计划更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程更多>>

领域

  • 5个电子电信
  • 3个机械工程
  • 2个自动化与计算...
  • 2个医药卫生
  • 2个文化科学
  • 2个理学
  • 1个经济管理
  • 1个金属学及工艺
  • 1个动力工程及工...
  • 1个一般工业技术
  • 1个历史地理

主题

  • 4个延拓
  • 2个单数
  • 2个导数
  • 2个导引
  • 2个低频
  • 2个低通
  • 2个低通滤波
  • 2个低通滤波器
  • 2个低信噪比
  • 2个点对应
  • 2个点衍射干涉仪
  • 2个调制度
  • 2个迭代
  • 2个迭代优化
  • 2个动态范围
  • 2个动态检测
  • 2个对比度
  • 2个多层膜
  • 2个多目标
  • 2个多项式

机构

  • 5个北京理工大学
  • 2个中国科学院
  • 2个中国科学院研...

资助

  • 5个国家自然科学...
  • 5个国家科技重大...
  • 4个教育部长江学...
  • 2个国家重点基础...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个长江学者和创...
  • 1个教育部重点实...
  • 1个王宽诚教育基...
  • 1个中国科学院“...
  • 1个中国科学院知...

传媒

  • 5个光学学报
  • 2个红外与激光工...
  • 2个仪器仪表学报
  • 2个光学技术
  • 2个激光与光电子...
  • 2个中国激光
  • 2个光电工程
  • 1个太阳能学报
  • 1个中国机械工程
  • 1个航空制造技术
  • 1个传感技术学报
  • 1个电子工业专用...
  • 1个功能材料与器...
  • 1个激光与红外
  • 1个微细加工技术
  • 1个压电与声光
  • 1个微纳电子技术
  • 1个纳米技术与精...
  • 1个2003年中...
  • 1个第十二届全国...

地区

  • 5个北京市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
李艳秋
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘克
供职机构：北京理工大学
研究主题：波像差 光刻机 投影物镜 光栅 位相
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴少雄
供职机构：北京理工大学光电学院
研究主题：延拓 光学测量 相位展开方法 相位展开
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨光华
供职机构：北京理工大学
研究主题：极紫外光刻 投影物镜 反射镜 紫外光刻 有限元模型
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张恨
供职机构：北京理工大学光电学院
研究主题：延拓 光学测量 相位展开方法 相位展开
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0