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国家自然科学基金(51035005)
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李以贵
杉山进
陈翔
刘景全
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李以贵
供职机构:上海应用技术学院理学院
研究主题:微细加工技术 微针 压电 MEMS 微机电系统技术
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杉山进
供职机构:日本立命馆大学
研究主题:高深宽比 聚甲基丙烯酸甲酯 PZT X光 锆钛酸铅
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廖哲勋
供职机构:上海交通大学
研究主题:微细加工工艺 微针 方腔 反应离子刻蚀 反应离子
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朱军
供职机构:上海交通大学
研究主题:微针 MEMS 微电子机械系统 SU-8胶 光刻胶
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黄远
供职机构:上海应用技术学院理学院
研究主题:液相 PZT 压电陶瓷 压电 微细加工技术
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颜平
供职机构:上海应用技术学院理学院
研究主题:液相 PZT 压电陶瓷 压电 微细加工技术
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陈翔
供职机构:教育部
研究主题:电极 微针 PDMS 金属 磁珠
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刘景全
供职机构:上海交通大学
研究主题:电极 压电 MEMS 微机电系统 微针
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彭广彬
供职机构:上海交通大学
研究主题:MEMS技术 掺杂 SUB 压力传感器 纳米SIO2
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柴欣
供职机构:上海交通大学
研究主题:MEMS技术 掺杂 SUB 压力传感器 纳米SIO2
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