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中国人民解放军总装备部预研基金(9140A05070208ZW0502)
作品数:
4
被引量:12
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相关作者:
赵翔
高杨
赵兴海
张照云
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相关机构:
中国工程物理研究院
中国工程物理研究院电子工程研究所
重庆大学
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中国人民解放军总装备部预研基金
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高杨
供职机构:重庆大学
研究主题:微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
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张照云
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 极板 加速度计 刻蚀 结构层
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赵兴海
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:激光诱导损伤 激光点火 激光损伤 ZEMAX 激光
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赵翔
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:激光 激光驱动 飞片 激光测量 爆轰波
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