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国家中长期科技发展规划重大专项(2009ZX02308)

作品数：92 被引量：165H指数：6
相关作者：刘玉岭王辰伟牛新环闫辰奇孙鸣更多>>
相关机构：河北工业大学河北联合大学天津职业技术师范大学更多>>
发文基金：国家中长期科技发展规划重大专项河北省自然科学基金河北省教育厅科研基金更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺理学一般工业技术更多>>

领域

  • 96个电子电信
  • 36个金属学及工艺
  • 29个自动化与计算...
  • 25个理学
  • 23个化学工程
  • 21个一般工业技术
  • 15个文化科学
  • 13个电气工程
  • 10个经济管理
  • 10个环境科学与工...
  • 9个建筑科学
  • 9个交通运输工程
  • 7个轻工技术与工...
  • 5个机械工程
  • 3个哲学宗教
  • 3个天文地球
  • 3个石油与天然气...
  • 3个医药卫生
  • 2个矿业工程
  • 2个冶金工程

主题

  • 86个CMP
  • 84个化学机械抛光
  • 84个机械抛光
  • 76个抛光液
  • 63个抛光
  • 59个去除速率
  • 55个平坦化
  • 55个碱性抛光液
  • 51个化学机械平坦...
  • 46个铜布线
  • 46个活性剂
  • 45个碱性
  • 42个磨料
  • 42个铜
  • 40个阻挡层
  • 39个表面活性
  • 39个表面活性剂
  • 39个粗糙度
  • 36个抛光速率
  • 32个电路

机构

  • 93个河北工业大学
  • 3个河北科技大学
  • 2个天津大学
  • 1个福建工程学院
  • 1个河北工学院
  • 1个中国电子科技...
  • 1个天津理工大学
  • 1个新疆师范大学
  • 1个天津职业技术...
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个机械科学研究...
  • 1个河北化工医药...
  • 1个河北联合大学
  • 1个中国人民政治...
  • 1个中国电子科技...
  • 1个华润集团有限...
  • 1个中芯国际集成...
  • 1个杭州西湖房地...
  • 1个北京七星华创...

资助

  • 96个国家中长期科...
  • 64个河北省自然科...
  • 42个国家科技重大...
  • 38个河北省教育厅...
  • 36个国家自然科学...
  • 26个天津市自然科...
  • 14个河北省高等学...
  • 12个国家教育部博...
  • 6个博士科研启动...
  • 6个河北省教育厅...
  • 5个河北省教育厅...
  • 5个河北省科技计...
  • 5个教育部重点实...
  • 5个天津市重大科...
  • 4个河北省科技支...
  • 3个新疆维吾尔自...
  • 3个河北省科学技...
  • 3个博士后科研启...
  • 3个天津市重点学...
  • 3个天津市科技攻...

传媒

  • 75个微纳电子技术
  • 54个半导体技术
  • 30个功能材料
  • 16个电镀与涂饰
  • 15个河北工业大学...
  • 15个微电子学
  • 12个表面技术
  • 12个稀有金属
  • 9个Journa...
  • 8个人工晶体学报
  • 8个河北科技大学...
  • 7个稀有金属材料...
  • 7个电镀与精饰
  • 7个固体电子学研...
  • 7个电子元件与材...
  • 7个第十三届全国...
  • 6个天津科技
  • 6个微细加工技术
  • 6个化工中间体
  • 6个电子设计工程

地区

  • 78个天津市
  • 15个河北省
  • 1个北京市
  • 1个新疆
共 96 条 记 录，以下是 1-10
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王辰伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫辰奇
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙鸣
供职机构：河北工业大学
研究主题：抛光液 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张金
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 去除速率 化学机械平坦化 化学机械抛光 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李炎
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：聚苯胺 防腐涂料 磨料 表面粗糙度 涂料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡轶
供职机构：新疆师范大学化学化工学院
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 碱性抛光液 抛光速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘效岩
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：化学机械抛光 CMP 晶片 工艺技术 硅片表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
栾晓东
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP 去除速率 碱性 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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