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国家自然科学基金(60301006)

作品数:5 被引量:29H指数:3
相关作者:于映罗仲梓吴清鑫翁心桥张春权更多>>
相关机构:福州大学厦门大学东南大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金福建省科技重点项目福建省自然科学基金更多>>
相关领域:理学电子电信一般工业技术电气工程更多>>

领域

  • 8个电子电信
  • 7个电气工程
  • 7个理学
  • 5个机械工程
  • 4个化学工程
  • 4个自动化与计算...
  • 4个一般工业技术
  • 4个文化科学
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  • 2个动力工程及工...
  • 2个轻工技术与工...
  • 2个航空宇航科学...
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  • 1个环境科学与工...
  • 1个医药卫生

主题

  • 8个亚胺
  • 8个酰亚胺
  • 8个聚酰亚胺
  • 7个开关
  • 6个氮化
  • 6个氮化硅
  • 6个氮化硅薄膜
  • 6个刻蚀
  • 6个PECVD
  • 5个射频
  • 5个射频MEMS...
  • 5个射频开关
  • 5个微机电系统
  • 5个键合
  • 5个MEMS开关
  • 3个等离子体
  • 2个导电薄膜
  • 2个导光
  • 2个等离子体激元
  • 2个低温漂

机构

  • 7个福州大学
  • 3个厦门大学
  • 2个东南大学
  • 2个苏州市职业大...
  • 1个南京大学
  • 1个南京邮电大学
  • 1个教育部
  • 1个浙江大学

资助

  • 9个国家自然科学...
  • 6个福建省自然科...
  • 6个福建省科技重...
  • 5个国家杰出青年...
  • 4个国家留学基金
  • 3个中国博士后科...
  • 3个福建省重点科...
  • 2个国家重点基础...
  • 2个江苏省自然科...
  • 2个国家教育部博...
  • 2个毫米波国家重...
  • 1个国防基础科研...
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  • 1个国家社会科学...
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  • 1个江苏省科技支...
  • 1个江苏省“六大...
  • 1个福建省科技厅...
  • 1个国家级大学生...
  • 1个江苏省普通高...

传媒

  • 6个传感技术学报
  • 5个功能材料
  • 5个集美大学学报...
  • 5个微纳电子技术
  • 5个传感器与微系...
  • 4个中国仪器仪表
  • 4个功能材料与器...
  • 4个苏州市职业大...
  • 3个真空科学与技...
  • 2个厦门大学学报...
  • 2个真空科学与技...
  • 2个科技资讯
  • 2个职业技术
  • 2个南京邮电大学...
  • 1个电子测试
  • 1个电子科技
  • 1个红外与激光工...
  • 1个化工时刊
  • 1个半导体技术
  • 1个Journa...

地区

  • 5个福建省
  • 4个江苏省
9 条 记 录,以下是 1-9
于映
供职机构:南京邮电大学
研究主题:氮化硅薄膜 共面波导 射频MEMS开关 天线 共形
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗仲梓
供职机构:厦门大学
研究主题:射频MEMS开关 PECVD 键合 芯片 微通道
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴清鑫
供职机构:苏州市职业大学电子信息工程系
研究主题:射频MEMS开关 氮化硅薄膜 PECVD 氮化硅 力学性能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张春权
供职机构:厦门大学
研究主题:键合 聚二甲基硅氧烷 微电子机械系统 PECVD PDMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭慧耀
供职机构:福州大学物理与信息工程学院
研究主题:保护层 光刻 聚酰亚胺 牺牲层 树脂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈光红
供职机构:苏州市职业大学电子信息工程学院
研究主题:教学探讨 射频MEMS开关 氮化硅 《信号与系统》 PECVD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王培森
供职机构:福州大学物理与信息工程学院
研究主题:MEMS开关 硅 RF-MEMS 保护层 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张彤
供职机构:东南大学
研究主题:等离激元 等离子体激元 光学陀螺 波导 集成光学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
翁心桥
供职机构:福州大学电子科学与应用物理系
研究主题:MEMS开关 PECVD 共平面波导 刻蚀工艺 射频开关
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
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