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国家重点基础研究发展计划(G20000000672-2)
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冯涛
杨传仁
王曦
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张继华
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冯涛
供职机构:华东师范大学
研究主题:碳纳米管 场发射 离子束辅助沉积 场发射显示器 电子发射
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张继华
供职机构:电子科技大学
研究主题:射频磁控溅射 BST 铁电薄膜 介电性能 基片
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王永进
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:波导 反应离子刻蚀 制作方法 掺ER 沉积速率
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于伟东
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:碳纳米管 场发射 过渡金属催化剂 微结构 场发射性能
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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杨传仁
供职机构:电子科技大学
研究主题:铁电薄膜 钛酸锶钡 BST BST薄膜 射频磁控溅射
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