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国家自然科学基金(60177009)
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欧毅
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欧毅
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统
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崔芳
供职机构:北京理工大学
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孙雨南
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崔建民
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