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国家自然科学基金(611760698)
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戴丽萍
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葛微微
供职机构:电子科技大学微电子与固体电子学院
研究主题:场限环 BST 半导体功率器件 结终端 钛酸锶钡
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张国俊
供职机构:电子科技大学
研究主题:带隙基准 DC-DC转换器 电路设计 电源抑制比 带隙基准电路
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钟志亲
供职机构:电子科技大学
研究主题:反应离子刻蚀 氮化硅薄膜 6H-SIC 退火 MEMS
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戴丽萍
供职机构:电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室
研究主题:ZNO MEMS 微机电系统 反应离子刻蚀 平面微弹簧
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孙子茭
供职机构:电子科技大学微电子与固体电子学院
研究主题:4H-SIC 欧姆接触 退火温度 SIC 快速热退火
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所获资助
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王姝娅
供职机构:电子科技大学
研究主题:反应离子刻蚀 锚点 电极 MEMS 微机电系统
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