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浙江省自然科学基金(M503062Y104241)

作品数：1 被引量：12H指数：1
相关作者：吴明明周兆忠郑家锦更多>>
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共 3 条 记 录，以下是 1-3
吴明明
供职机构：浙江工业大学浙西分校
研究主题：单晶硅片 研磨 氮化硅陶瓷 现代制造业 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周兆忠
供职机构：衢州学院
研究主题：磨粒 抛光 固着 研磨 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑家锦
供职机构：浙江工业大学浙西分校
研究主题：研磨 数字控制 机床 均匀性 平面研磨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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