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国家高技术研究发展计划(863-715-001-0162)
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李庚伟
吴正龙
张建辉
杨少延
邵素珍
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李庚伟
供职机构:中国地质大学(北京)
研究主题:离子束辅助 氧 X射线光电子能谱 激光淀积 PLD
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吴正龙
供职机构:北京师范大学
研究主题:XPS 离子束辅助 X射线光电子能谱 氧 硅
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张建辉
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:氧 激光淀积 离子束辅助 X射线光电子能谱 XPS研究
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杨少延
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:衬底 生长温度 非极性 氮化镓 协变
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姚振钰
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:ZNO薄膜 低能离子束 硅 PLD法 脉冲激光淀积
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柴春林
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:多层膜 超高真空 生长温度 离子束外延 低能离子
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廖梅勇
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:金刚石膜 SI薄膜 碳膜 PLD法 脉冲激光淀积
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贺洪波
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光学薄膜 激光损伤阈值 镀膜 激光损伤 夹具
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所获资助
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张建辉
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:硅 超薄 XRD SI衬底 SI
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邵素珍
供职机构:沛县张寨中学
研究主题:教学 X射线光电子能谱 激光淀积 离子束辅助 氧
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