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国家高技术研究发展计划(2005AA404210)
作品数:
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相关作者:
陈大鹏
叶甜春
欧毅
焦斌斌
黄钦文
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中国科学院微电子研究所
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陈大鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 MEMS 沟道 焦平面阵列
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欧毅
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统
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叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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黄钦文
供职机构:信息产业部电子第五研究所
研究主题:加速度计 随动 微悬臂梁 校准 转台
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焦斌斌
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:平面阵列 非制冷红外成像 焦平面阵列 芯片 红外成像
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李超波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
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景玉鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅片 气敏传感器 光刻胶 刻蚀 临界态
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石莎莉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 控制部件 氮化硅薄膜 牺牲层 刻蚀
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董立军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:沟道 氮化硅薄膜 红外焦平面阵列 纳米孔 MEMS
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张青川
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光学读出 微悬臂梁 非制冷红外成像 动态应变时效 焦平面阵列
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