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国家高技术研究发展计划(2006AA04Z326)
作品数:
2
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相关作者:
蔡豪刚
丁桂甫
杨卓青
周镇威
汪红
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杨卓青
供职机构:上海交通大学
研究主题:绝缘衬底 惯性开关 微机电系统技术 蛇形弹簧 微机电系统
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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蔡豪刚
供职机构:哥伦比亚大学
研究主题:微机电系统 MEMS 惯性开关 电学 微型惯性开关
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周镇威
供职机构:上海交通大学
研究主题:绝缘衬底 火花隙开关 碳纳米管 电极 微机电系统
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赵小林
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微机电系统技术 电磁驱动
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付世
供职机构:上海交通大学
研究主题:MEMS 微机电系统 多孔硅 PDMS 压力传感器
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汪红
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
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