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国家自然科学基金(50277003)
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4
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齐雪莲
任春生
马腾才
张健
王友年
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齐雪莲
供职机构:大连理工大学
研究主题:非平衡磁控溅射 CU膜 LANGMUIR探针 发射光谱 射频
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任春生
供职机构:大连理工大学
研究主题:介质阻挡放电 等离子体 大气压 大气压辉光放电 离子束
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马腾才
供职机构:大连理工大学
研究主题:等离子体 离子注入 强流脉冲离子束 强流脉冲离子束辐照 辉光放电
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张健
供职机构:大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室
研究主题:LANGMUIR探针 感应耦合等离子体 发射光谱 和光 等离子体参数
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麻冰欣
供职机构:大连理工大学
研究主题:非平衡磁控溅射 磁控溅射 CU膜 薄膜沉积技术 辅助磁场
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王友年
供职机构:大连理工大学
研究主题:等离子体 放电线圈 射频放电 鞘层 射频
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刘峰
供职机构:大连理工大学
研究主题:脉冲电晕放电 非接触式测温 阀门泄漏 阀门 红外热成像技术
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