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国家自然科学基金(60376038)

作品数：11 被引量：47H指数：4
相关作者：李昕欣杨尊先王跃林于映鲍海飞更多>>
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共 18 条 记 录，以下是 1-10
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨尊先
供职机构：福州大学
研究主题：量子点 旋涂 锂离子电池 量子阱材料 壳核
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于映
供职机构：南京邮电大学
研究主题：氮化硅薄膜 共面波导 射频MEMS开关 天线 共形
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲍海飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：原子力显微镜 加速度计 高量程加速度传感器 量程 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
左国民
供职机构：中国人民解放军防化指挥工程学院
研究主题：降解研究 悬臂梁 芥子气 TPD 降解
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金大重
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 激励线圈 驱动线圈 悬臂 硅微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘剑
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 悬臂 激励线圈 微机械传感器 驱动线圈
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林丽华
供职机构：福州大学
研究主题：数据存储 RF_MEMS开关 硅基 低驱动电压 阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
余海涛
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 压阻传感器 高阶 悬臂梁 微悬臂梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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