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国家自然科学基金(60376020)
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刘明
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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陈宝钦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束曝光 电子束直写 抗蚀剂 电子束
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李泠
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 晶体管 电极 介质层 沟道
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龙世兵
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 浮栅 非挥发性 电子束直写
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陆晶
供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:分辨率 移相掩模技术 移相掩模 光刻 交替式
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谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
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范东升
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:纳米压印 纳米压印光刻 T型栅 压印 微细加工
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王云翔
供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:移相掩模技术 移相掩模 分辨率 光刻 交替式
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张立辉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:单电子晶体管 电子束直写 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
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康晓辉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:波带片 纳米压印 英文 高分辨率 电子束
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