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国家重点基础研究发展计划(2003cb716204)

作品数：5 被引量：16H指数：2
相关作者：朱煜尹文生朱立伟段广洪陈亚英更多>>
相关机构：清华大学更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>

领域

  • 8个机械工程
  • 7个自动化与计算...
  • 6个理学
  • 5个电子电信
  • 5个一般工业技术
  • 4个金属学及工艺
  • 4个电气工程
  • 3个化学工程
  • 3个交通运输工程
  • 3个农业科学
  • 3个文化科学
  • 2个经济管理
  • 2个动力工程及工...
  • 1个生物学
  • 1个天文地球
  • 1个矿业工程
  • 1个石油与天然气...
  • 1个建筑科学
  • 1个水利工程
  • 1个环境科学与工...

主题

  • 6个微动工作台
  • 6个工位
  • 6个光刻
  • 5个弹簧
  • 5个电机
  • 4个导轨
  • 4个电磁
  • 4个电磁力
  • 4个电磁驱动
  • 4个电磁式
  • 4个电机定子
  • 4个叠层
  • 4个叠层结构
  • 4个定子
  • 4个动力学
  • 4个动量
  • 4个对接
  • 3个大行程
  • 3个带结构
  • 3个带宽

机构

  • 8个清华大学
  • 2个上海交通大学
  • 1个电子科技大学
  • 1个华中科技大学
  • 1个武汉科技大学
  • 1个中国矿业大学
  • 1个华中理工大学
  • 1个中国科学院生...
  • 1个国家CIMS...

资助

  • 8个国家重点基础...
  • 6个国家自然科学...
  • 4个中国博士后科...
  • 3个国家高技术研...
  • 3个国家重点实验...
  • 2个北京市自然科...
  • 2个国家科技支撑...
  • 2个北京市科技计...
  • 2个国家科技重大...
  • 2个国家教育部博...
  • 2个面向21世纪...
  • 1个国家科技攻关...
  • 1个湖北省自然科...
  • 1个教育部科学技...
  • 1个内蒙古自治区...
  • 1个山东省优秀中...
  • 1个教育部科学技...
  • 1个“十一五”国...
  • 1个光电技术及系...
  • 1个国防民口配套...

传媒

  • 5个组合机床与自...
  • 4个半导体技术
  • 4个清华大学学报...
  • 4个中国机械工程
  • 4个振动与冲击
  • 4个工具技术
  • 4个现代机械
  • 4个机械科学与技...
  • 4个电子工业专用...
  • 3个机械工程学报
  • 3个机床与液压
  • 3个润滑与密封
  • 3个电工技术学报
  • 2个计算机集成制...
  • 2个汽轮机技术
  • 2个Journa...
  • 2个新技术新工艺
  • 2个制造技术与机...
  • 2个机械设计与制...
  • 2个机械强度

地区

  • 6个北京市
  • 1个湖北省
  • 1个广东省
共 8 条 记 录，以下是 1-8
朱煜
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段广洪
供职机构：清华大学深圳研究生院
研究主题：光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹文生
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈亚英
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 控制研究 传动带 硅片 惯量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱立伟
供职机构：清华大学
研究主题：自标定 超精密 硅片 气浮轴承 超精密定位
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武晨光
供职机构：清华大学
研究主题：WEB 超精密 微动工作台 电磁式 电磁驱动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李恒
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：精密工作台 扰动观测器 气浮导轨 运动轨迹规划 超精密
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾松涛
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 微动工作台 精密工作台 气浮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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