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国家自然科学基金(2008ZX02104-001)

作品数:1 被引量:5H指数:1
相关作者:董莹刘宇宏雒建斌戴媛静更多>>
相关机构:清华大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:机械工程更多>>

领域

  • 4个机械工程
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  • 3个金属学及工艺
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  • 1个航空宇航科学...
  • 1个历史地理

主题

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  • 3个润滑
  • 3个润滑剂
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  • 1个大位移井
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  • 1个单晶硅片
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  • 1个氮化钢
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  • 1个氮化碳
  • 1个氮化碳薄膜
  • 1个氮化钛

机构

  • 4个清华大学
  • 2个清华大学研究...
  • 1个复旦大学
  • 1个西南交通大学
  • 1个西安冶金建筑...
  • 1个华南理工大学
  • 1个中国科学院
  • 1个香港城市大学
  • 1个国家自然科学...
  • 1个青华大学

资助

  • 4个国家重点基础...
  • 4个国家自然科学...
  • 3个国家重点实验...
  • 2个中国博士后科...
  • 2个国际科技合作...
  • 2个上海市科委科...
  • 1个广东省自然科...
  • 1个国防基础科研...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个国家科技支撑...
  • 1个江苏省自然科...
  • 1个教育部跨世纪...
  • 1个教育部留学回...
  • 1个山东省自然科...
  • 1个上海市科委纳...
  • 1个国家杰出青年...
  • 1个国家科技重大...
  • 1个创新研究群体...
  • 1个贵州省科技厅...
  • 1个教育部重点实...

传媒

  • 4个润滑与密封
  • 3个摩擦学学报(...
  • 2个物理学报
  • 2个中国基础科学
  • 2个金属加工(冷...
  • 1个科学通报
  • 1个钢铁
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  • 1个机械工程学报
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  • 1个中国机械工程
  • 1个材料保护
  • 1个自然杂志
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  • 1个机械设计
  • 1个现代机械

地区

  • 4个北京市
4 条 记 录,以下是 1-4
董莹
供职机构:清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室
研究主题:铜 缓蚀剂 化学机械抛光 作用机制研究 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘宇宏
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 摩擦副表面 铜布线 润滑材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雒建斌
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴媛静
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 水性 抛光 金属加工液 抛光速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
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