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国家自然科学基金(2008ZX02104-001)
作品数:
1
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相关作者:
董莹
刘宇宏
雒建斌
戴媛静
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董莹
供职机构:清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室
研究主题:铜 缓蚀剂 化学机械抛光 作用机制研究 抛光液
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刘宇宏
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 摩擦副表面 铜布线 润滑材料
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雒建斌
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
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所获资助
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戴媛静
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 水性 抛光 金属加工液 抛光速率
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