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国家自然科学基金(10305008)

作品数:12 被引量:25H指数:3
相关作者:辛煜宁兆元狄小莲虞一青鲁涛更多>>
相关机构:苏州大学复旦大学江苏省薄膜材料重点实验室更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学电子电信一般工业技术机械工程更多>>

领域

  • 20个理学
  • 17个电子电信
  • 15个一般工业技术
  • 10个机械工程
  • 10个电气工程
  • 9个化学工程
  • 8个自动化与计算...
  • 7个金属学及工艺
  • 5个核科学技术
  • 4个建筑科学
  • 4个轻工技术与工...
  • 4个环境科学与工...
  • 4个文化科学
  • 3个自然科学总论
  • 2个经济管理
  • 2个天文地球
  • 2个动力工程及工...
  • 2个医药卫生
  • 1个哲学宗教
  • 1个生物学

主题

  • 17个光谱
  • 16个等离子体
  • 14个刻蚀
  • 14个感应耦合
  • 10个带隙
  • 10个电学
  • 8个氮化
  • 8个等离子
  • 8个电性质
  • 8个射频
  • 7个电路
  • 7个电特性
  • 7个电学特性
  • 7个性能研究
  • 6个等离子体诊断
  • 6个电化学
  • 6个电子温度
  • 5个氮化硅
  • 5个氮化钛
  • 4个等离子体密度

机构

  • 15个苏州大学
  • 6个南京大学
  • 3个江苏省光电信...
  • 2个复旦大学
  • 2个中国科学院等...
  • 2个江苏省薄膜材...
  • 2个苏州市第三中...
  • 1个第二军医大学
  • 1个第三军医大学...
  • 1个江苏大学
  • 1个南京大学医学...
  • 1个南京铁道医学...
  • 1个南洋理工大学
  • 1个上海交通大学...
  • 1个上海市第一人...
  • 1个南方医科大学
  • 1个南京军区南京...
  • 1个中国科学院
  • 1个南京医科大学...
  • 1个上海交通大学...

资助

  • 20个国家自然科学...
  • 10个江苏省自然科...
  • 7个江苏省重点实...
  • 6个国家重点实验...
  • 5个国家重点基础...
  • 4个国家高技术研...
  • 4个中国博士后科...
  • 4个江苏省高校省...
  • 4个江苏省高校省...
  • 3个国家杰出青年...
  • 3个江苏省高技术...
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  • 3个国家攀登计划
  • 3个江苏省博士后...
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  • 2个广东省自然科...
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  • 2个江苏省“六大...
  • 2个国家基础科学...
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传媒

  • 16个真空科学与技...
  • 15个物理学报
  • 11个功能材料与器...
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  • 9个功能材料
  • 7个物理
  • 6个光学学报
  • 6个中国真空学会...
  • 4个半导体技术
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  • 4个中国真空学会...
  • 3个科学通报
  • 3个科技导报
  • 3个电子学报
  • 3个真空
  • 3个真空科学与技...

地区

  • 18个江苏省
  • 2个上海市
20 条 记 录,以下是 1-10
辛煜
供职机构:苏州大学
研究主题:感应耦合等离子体 等离子体 发射光谱 A-C 氟化非晶碳薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宁兆元
供职机构:苏州大学
研究主题:等离子体 氟化非晶碳薄膜 ECR 感应耦合等离子体 光学带隙
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
狄小莲
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题:感应耦合等离子体 变压器模型 感应耦合 平板型 HFO
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
虞一青
供职机构:苏州大学
研究主题:感应耦合等离子体 封装玻璃 金属阴极 金属阳极 射流装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲁涛
供职机构:南京大学
研究主题:红外光谱 SINX 性能表征 光学性能 光学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙刚
供职机构:苏州大学
研究主题:RAMAN光谱 感应耦合 光学带隙 类金刚石碳膜 类金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴雪梅
供职机构:苏州大学
研究主题:螺旋波 光致发光 螺旋波等离子体 等离子体 球磨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许圣华
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)
研究主题:高温热管 氟化非晶碳薄膜 ECR-CVD SIO 余热回收
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁荣庆
供职机构:复旦大学
研究主题:等离子体 低温等离子体技术 剂量计 固态照明 介质阻挡放电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄壮雄
供职机构:南京大学
研究主题:光栅 信号波形 激光 多普勒效应 微振动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共2页<12>
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