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天津市科技计划(08JCYBJC14600)

作品数:1 被引量:2H指数:1
相关作者:王莎莎孙大智吴小国张楷亮王芳更多>>
相关机构:天津理工大学更多>>
发文基金:天津市科技计划天津市高等学校科技发展基金计划项目国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学更多>>

领域

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主题

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  • 5个电感耦合等离...
  • 4个等离子体刻蚀
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  • 2个导电能力
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机构

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  • 1个河北工业大学
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  • 1个中国科学院
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资助

  • 5个国家自然科学...
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传媒

  • 5个光电子.激光
  • 3个天津理工大学...
  • 2个Journa...
  • 2个物理学报
  • 2个人工晶体学报
  • 1个分析化学
  • 1个化学与粘合
  • 1个半导体技术
  • 1个无机化学学报
  • 1个粘接
  • 1个中国胶粘剂
  • 1个润滑与密封
  • 1个膜科学与技术
  • 1个高分子材料科...
  • 1个塑料工业
  • 1个材料导报
  • 1个中国塑料
  • 1个光谱学与光谱...
  • 1个大连理工大学...
  • 1个河北工业大学...

地区

  • 5个天津市
5 条 记 录,以下是 1-5
张楷亮
供职机构:天津理工大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 存储器 叠层结构 抛光速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王莎莎
供职机构:天津理工大学
研究主题:金刚石薄膜 金刚石表面 纳米 抛光 等离子体刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙大智
供职机构:天津理工大学
研究主题:金刚石膜 纳米金刚石薄膜 金刚石 金刚石薄膜 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴小国
供职机构:天津理工大学
研究主题:金刚石 金刚石薄膜 金刚石膜 薄膜厚度 多层膜结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王芳
供职机构:天津大学
研究主题:存储器 叠层结构 化学机械抛光 氧化钒薄膜 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
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