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国家高技术研究发展计划(2002AA4Z3000)
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王向朝
李小平
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王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
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李小平
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 编织袋 移动机器人 包装机 浸液
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施伟杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 成像质量 空间频率 光刻
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马明英
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 像差 成像质量 光学测量
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何乐
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 工件台 不平度 测量系统 激光干涉仪
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王帆
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 像差 成像质量 光学测量
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聂宏飞
供职机构:华中科技大学
研究主题:温度控制 光刻机 投影物镜 集成电路芯片 芯片键合
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张冬青
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 成像质量 像差 光学测量
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陈飞彪
供职机构:华中科技大学
研究主题:硅片表面 光刻机 硅片 茶叶揉捻机 测光
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林桂娟
供职机构:厦门理工学院机械与汽车工程学院
研究主题:电活性聚合物 能量转换 CC-LINK现场总线 CC 集散控制
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