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国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ04013608)

作品数：2 被引量：2H指数：1
相关作者：赵珉牛洁斌陈宝钦刘桂英朱齐媛更多>>
相关机构：湛江师范学院中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家重大科学仪器设备开发专项国家自然科学基金全球变化研究国家重大科学研究计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

领域

  • 5个电子电信
  • 5个自动化与计算...
  • 3个机械工程
  • 3个一般工业技术
  • 3个文化科学
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  • 1个经济管理
  • 1个金属学及工艺
  • 1个电气工程
  • 1个自然科学总论

主题

  • 5个电子束光刻
  • 5个光刻
  • 5个分辨率
  • 5个高分辨率
  • 4个电子束
  • 4个电子束曝光
  • 4个对比度
  • 4个灵敏度
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  • 3个电子束光刻技...
  • 3个电子束抗蚀剂
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  • 3个电子束直写
  • 2个等离子体刻蚀
  • 2个电极
  • 2个电镜
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  • 2个电子束曝光机
  • 2个电子束曝光技...

机构

  • 3个湛江师范学院
  • 3个中国科学院微...
  • 2个中国科学院微...
  • 1个北京邮电大学
  • 1个北京师范大学
  • 1个中国科学院
  • 1个重庆大学
  • 1个中国科学院长...
  • 1个岭南师范学院

资助

  • 5个国家自然科学...
  • 5个国家重大科学...
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  • 3个国家高技术研...
  • 3个国家重点基础...
  • 1个广东省自然科...
  • 1个国家杰出青年...
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  • 1个中国科学院微...
  • 1个中国科学院知...
  • 1个中国科学院知...
  • 1个中国人民解放...

传媒

  • 4个半导体技术
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  • 2个光学精密工程
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  • 2个光学学报
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  • 2个第十五届全国...
  • 1个电子科技
  • 1个光电子．激光

地区

  • 2个北京市
  • 2个广东省
共 5 条 记 录，以下是 1-5
赵珉
供职机构：湛江师范学院信息科学与技术学院
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束抗蚀剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛洁斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束曝光 衬底 电子束直写 衍射光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘桂英
供职机构：湛江师范学院信息科学与技术学院
研究主题：通信原理 NAND FLASH EBL 高分辨率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱齐媛
供职机构：岭南师范学院
研究主题：单片机 量程转换 教学模式 测控终端 GPRS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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