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国家技术创新计划(60278028)
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袁勇
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栗大超
供职机构:天津大学
研究主题:MEMS 组织液 微机电系统 葡萄糖浓度 表面等离子共振
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吴文刚
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 悬臂梁 各向异性刻蚀 英文 聚焦离子束
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靳世久
供职机构:天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
研究主题:油气管道 泄漏检测 声发射 分布式光纤 超声相控阵
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郝一龙
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 硅 微电子机械系统 英文
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袁勇
供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题:面向对象 逆向工程 JAVA语言 再工程 英文
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阎桂珍
供职机构:北京大学信息科学技术学院微电子研究院
研究主题:集成电路工艺 集成电路 MOSFET 硅 SOI
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孙卫
供职机构:北京大学
研究主题:测试性 测试点 集成电路设计 集成电路 自动布局布线
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