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“上海-应用材料研究与发展”基金(0514)

作品数:2 被引量:1H指数:1
相关作者:蒋玉龙屈新萍李炳宗茹国平黄巍更多>>
相关机构:复旦大学更多>>
发文基金:上海市自然科学基金国家自然科学基金“上海-应用材料研究与发展”基金更多>>
相关领域:机械工程理学更多>>

领域

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主题

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机构

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资助

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  • 1个电子学报

地区

  • 5个上海市
5 条 记 录,以下是 1-5
蒋玉龙
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:NISI 固相反应 硅化物 课堂 超浅结
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李炳宗
供职机构:复旦大学
研究主题:固相反应 硅化物 自对准 NISI 微电子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
屈新萍
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 固相反应 扩散阻挡层 NISI 硅化物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
茹国平
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:固相反应 微电子 NISI 硅化物 SI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄巍
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院微电子学系
研究主题:铂 SI PT NISI 薄膜应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
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