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上海市科委科技攻关项目(11511500900)

作品数：2 被引量：5H指数：1
相关作者：李昕欣俞锋于海涛王家畴刘洁丹更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院上海交通大学更多>>
发文基金：上海市科委科技攻关项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 5个自动化与计算...
  • 3个金属学及工艺
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主题

  • 5个感器
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机构

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  • 1个国防科学技术...
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  • 1个中科院上海微...
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资助

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  • 1个哈尔滨市科技...
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传媒

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地区

  • 5个上海市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王家畴
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅片 单晶硅 热电堆 衬底 热偶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
俞锋
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 模态 电热驱动 式微 生化传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘洁丹
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅片 表面贴装封装 微流量传感器 表面贴装 封装技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于海涛
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微悬臂梁 悬臂梁 谐振式 锁相环 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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