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国家重点实验室开放基金(514850202JW2001)
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张流强
温志渝
梁玉前
刘妤
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张流强
供职机构:重庆大学
研究主题:CDZNTE 微加速度传感器 能量分辨率 MEMS 半导体探测器
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温志渝
供职机构:重庆大学
研究主题:微型光谱仪 MEMS 光谱分析 微机电系统 真空微电子
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梁玉前
供职机构:重庆大学光电工程学院新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室
研究主题:MEMS 光谱分析 微加速度传感器 生化分析仪 CAD
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刘妤
供职机构:重庆理工大学
研究主题:硅 惯性质量 微加速度传感器 MEMS 传感器
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刘玉奎
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:微电子机械系统 击穿电压 硅薄膜 MEMS 压力传感器
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