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电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室基金(9140C0301040801)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：侯通贤林晓玲姚若河更多>>
相关机构：工业和信息化部华南理工大学更多>>
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侯通贤
供职机构：华南理工大学电子与信息学院微电子研究所
研究主题：铜互连 热应力 有限元分析 CU互连 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林晓玲
供职机构：工业和信息化部电子第五研究所
研究主题：芯片 集成电路 可靠性 铜互连 SIGE_HBT
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚若河
供职机构：华南理工大学
研究主题：薄膜晶体管 电极 多晶硅 多晶硅薄膜 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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