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国家重点基础研究发展计划(G1999033102)
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宋青林
夏善红
吴一辉
陈绍凤
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夏善红
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电场传感器 微型电场传感器 屏蔽电极 电场 传感器
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宋青林
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:压力传感器 热导率 尺寸效应 SI 热物性
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陈绍凤
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电场传感器 微型电场传感器 MEMS 传感器 真空微电子压力传感器
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吴一辉
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:微流控芯片 光纤 飞轮 MEMS 生物传感器
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宣明
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光纤光谱仪 飞轮 狭缝 反射镜 凹坑
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贾宏光
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:导引头 无人机 MEMS 电动舵机 捷联导引头
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张建刚
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:SI 温度系数 自组装 微器件 微电子机械系统
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郭占社
供职机构:北京航空航天大学
研究主题:谐振式 硅 微机械陀螺 硅微机械陀螺 谐振
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王淑荣
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:成像光谱仪 紫外 定标 探测器 单色仪
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鞠挥
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光谱仪 光栅 湿法腐蚀 光纤光谱仪 微型光谱仪
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