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中国博士后科学基金(20070420360)

作品数：3 被引量：15H指数：2
相关作者：徐登峰朱煜尤政张鸣赵冶更多>>
相关机构：清华大学更多>>
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相关领域：机械工程理学一般工业技术更多>>

领域

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主题

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  • 2个单胞
  • 2个单独驱动
  • 2个单端
  • 2个单模

机构

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  • 1个上海交通大学
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资助

  • 7个国家重点基础...
  • 7个中国博士后科...
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  • 1个国家留学基金
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  • 1个教育部科学技...

传媒

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  • 4个机械工程学报
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  • 2个仪器仪表与分...
  • 2个压力容器
  • 2个科技导报
  • 2个江苏农业科学
  • 2个光学技术
  • 2个机电工程

地区

  • 7个北京市
共 7 条 记 录，以下是 1-7
徐登峰
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱煜
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张鸣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尤政
供职机构：清华大学
研究主题：超级电容器 星敏感器 MEMS 微机电系统 太阳敏感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵冶
供职机构：清华大学
研究主题：解耦控制 空气净化装置 空气净化技术 空气过滤装置 温度梯度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高阵雨
供职机构：国家自然科学基金委员会
研究主题：国家自然科学基金 国家杰出青年科学基金 国家自然科学 基金资助 科学基金
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾松涛
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 微动工作台 精密工作台 气浮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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