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国家自然科学基金(60576032)
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4
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相关作者:
徐秋霞
周华杰
许高博
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相关机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
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徐秋霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
周华杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 鳍片 自顶向下 沟道效应 硅化
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
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许高博
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 介质层 沟道 堆叠
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相关人物
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