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中国博士后科学基金(20060390984)
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郭东明
李庆忠
康仁科
张然
金洙吉
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郭东明
供职机构:大连理工大学
研究主题:化学机械抛光 天线罩 抛光 硅片 杯形砂轮
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李庆忠
供职机构:江南大学
研究主题:有限元分析 复合添加剂 铜 润滑油 化学机械抛光
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康仁科
供职机构:大连理工大学
研究主题:超声 砂轮 蜂窝芯 化学机械抛光 刀具
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张然
供职机构:大连理工大学
研究主题:偏振光 微操作 偏振 夹钳 微机电系统技术
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苏建修
供职机构:河南科技学院
研究主题:化学机械抛光 材料去除率 抛光辊 捕集装置 滚切
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金洙吉
供职机构:大连理工大学
研究主题:化学机械抛光 抛光 超精密加工 抛光液 金刚石
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