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国家高技术研究发展计划(2007AA04Z315)
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6
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孙立宁
王家畴
荣伟彬
李昕欣
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孙立宁
供职机构:苏州大学
研究主题:机器人 压电陶瓷 并联机器人 柔性铰链 微操作
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王家畴
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅片 单晶硅 热电堆 衬底 热偶
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荣伟彬
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:激光陀螺 微操作 压电陶瓷 微操作机器人 柔性铰链
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
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李欣昕
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 压阻式加速度传感器 微机械 振动频率 深反应离子刻蚀
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张乐敏
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:并联 引线键合 超声波 弹性梁 压电超声换能器
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马立
供职机构:上海大学机电工程与自动化学院
研究主题:激光陀螺 光电管 光学元件 有限元分析 柔性铰链
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刘延杰
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:硅片 硅片传输机器人 机器人 Z轴 压电陶瓷
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刘曰涛
供职机构:山东理工大学机械工程学院
研究主题:压电陶瓷 超声 阳极键合 硅片 片夹
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