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国家自然科学基金(11079035)

作品数：13 被引量：52H指数：4
相关作者：彭忠琦卢启鹏龚学鹏高飒飒宋源更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院大学中国科学院研究生院更多>>
发文基金：国家自然科学基金应用光学国家重点实验室开放基金国家科技重大专项更多>>
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共 7 条 记 录，以下是 1-7
彭忠琦
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学元件 超高真空 近红外 单色器 EUV
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢启鹏
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：近红外光谱 近红外 光学元件 超高真空 单色器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龚学鹏
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：三维曲面 机械工程领域 光学元件 多点成形 数值模拟
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高飒飒
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：面形误差 X射线 干涉光刻 面形 超高真空
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋源
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学元件 反射镜 EUV 夹持 应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王依
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学元件 EUV 反射镜 清洗方法 超高真空
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马磊
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：单色器 平面光栅 误差分析 转角精度 棱镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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