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国家教育部博士点基金(20104420110002)
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魏昕
谢小柱
杨向东
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魏昕
供职机构:广东工业大学机电工程学院
研究主题:激光 激光技术 微热管 化学机械抛光 蓝宝石
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谢小柱
供职机构:广东工业大学
研究主题:激光 微热管 激光技术 激光加工 蓝宝石
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杨向东
供职机构:广东工业大学
研究主题:化学机械抛光 材料去除率 CMP 沟槽 抛光垫
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胡伟
供职机构:广东工业大学
研究主题:激光 微热管 蓝宝石 激光技术 平板热管
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袁文强
供职机构:广东工业大学
研究主题:重力式 工件 化学机械抛光 抛光 真空吸盘
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邹微波
供职机构:广东工业大学机电工程学院
研究主题:化学机械抛光 材料去除率 CMP 抛光液 沟槽
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方照蕊
供职机构:广东工业大学机电工程学院
研究主题:化学机械抛光 材料去除率 CMP 抛光液 沟槽
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郑海凤
供职机构:广东工业大学
研究主题:化学机械抛光 温度检测 超薄 CMP 在线检测
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钟静
供职机构:广东工业大学
研究主题:液膜厚度 CMP 化学机械抛光 工件 重力式
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