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国家自然科学基金(90607019)

作品数：3 被引量：9H指数：2
相关作者：张卫汪礼康潘少辉何伦文徐赛生更多>>
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地区

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共 10 条 记 录，以下是 1-10
张卫
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 晶体管 存储器 电极 隧穿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪礼康
供职机构：复旦大学
研究主题：铜互连 脉冲电镀 集成电路 电阻率 X射线衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何伦文
供职机构：复旦大学
研究主题：功率器件 可靠性 有限元分析 铝线 引脚
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙亮
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院微电子学系
研究主题：SIOC 密度泛函理论 低介电常数介质 互连线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
薛原
供职机构：复旦大学
研究主题：SIOC 原子层淀积 高K栅介质 密度函数理论 密度泛函理论
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张立锋
供职机构：复旦大学微电子研究院
研究主题：铜互连 脉冲电镀 集成电路 电阻率 X射线衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁士进
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱莲
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院微电子学系
研究主题：低介电常数介质 SIOC 密度泛函理论 FTIR SIMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
潘少辉
供职机构：复旦大学
研究主题：铝线 VDMOS器件 热阻 贴片工艺 有限元分析法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐赛生
供职机构：复旦大学
研究主题：增强型 铜互连 脉冲电镀 势垒层 阴极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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