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国家科技重大专项(2009ZX02039-005)
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赵鸿滨
杜军
屠海令
张心强
杨萌萌
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杜军
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:吸气剂 玻璃陶瓷 介电性能 钛酸锶钡 性能研究
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赵鸿滨
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:存储器 底电极 衬底 电极 稀土氧化物
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张心强
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:吸气剂 PECVD 吸气性能 脉冲激光沉积 性能研究
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屠海令
供职机构:国家工程研究中心
研究主题:硅 单晶 硅单晶 存储器 底电极
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杨萌萌
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:HFO HFO2 掺杂 CEO2 电学特性
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杨志民
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:吸气剂 介电性能 钨 底电极 钛酸锶钡
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郭亿文
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:AL2O3 钝化 电学性能 掺杂 HFO
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熊玉华
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:吸气剂 细化剂 晶粒组织 K4169高温合金 计算机模拟
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