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中国工程物理研究院科技发展基金(2008A0403016)
作品数:
12
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高杨
贾小慧
王强
柏鹭
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高杨
供职机构:重庆大学
研究主题:微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
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王强
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:迭代法 TE 模式变换器 耦合波理论 微电子机械系统
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贾小慧
供职机构:西南科技大学信息工程学院
研究主题:微电子机械系统 RF_MEMS 移相器 射频微电子机械系统 MEMS
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柏鹭
供职机构:西南科技大学信息工程学院
研究主题:微电子机械系统 MEMS X波段 RF_MEMS 悬臂梁
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刘婷婷
供职机构:西南科技大学信息工程学院
研究主题:微电子机械系统 微通道热沉 微通道 微流体 MEMS
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白竹川
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:电渗泵 微电子机械系统 高压开关柜 数值仿真 低驱动电压
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陈营端
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:高压开关柜 数值仿真 微电子机械系统 信息安全 叉指换能器
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秦燃
供职机构:西南科技大学信息工程学院
研究主题:射频微电子机械系统 并联开关 开关 驱动电压 电容式
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李仁锋
供职机构:中国工程物理研究院
研究主题:多晶硅薄膜 多晶硅 MEMS 低压化学气相淀积 LPCVD
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袁明权
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度传感器 压敏电阻 微机械加速度传感器 微电子机械系统 固有频率
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