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国家自然科学基金(90407020)
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乔大勇
苑伟政
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苑伟政
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微机械陀螺 锚点
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乔大勇
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 扫描镜 微机械 锚点
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饶伏波
供职机构:西北工业大学
研究主题:MEMS 自适应光学系统 波前校正 自适应光学 微机电系统
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姜澄宇
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 剪应力 高深宽比 产品数据管理
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李晓莹
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微细加工 微变形镜
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虞益挺
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 锚点 光纤
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供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 冲程 微变形镜 斥力 弹性梁
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马志波
供职机构:西北工业大学
研究主题:光纤F-P腔 高深宽比 微机电系统 硅 传感器
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