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国家自然科学基金(60276043)

作品数：9 被引量：21H指数：3
相关作者：冯伯儒张锦刘娟郭永康刘明更多>>
相关机构：中国科学院四川大学中国科学院微电子研究所更多>>
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相关领域：电子电信机械工程理学更多>>

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地区

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共 7 条 记 录，以下是 1-7
冯伯儒
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 相移掩模 光刻系统 干涉光刻 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张锦
供职机构：西安工业大学光电工程学院
研究主题：光刻系统 干涉光刻 光刻 光刻技术 激光干涉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘娟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：掩模 高速通信 光刻技术 光刻系统 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭永康
供职机构：四川大学物理科学与技术学院
研究主题：光刻 惯性约束聚变 全息图 分数傅里叶变换 干涉光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宗德蓉
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：声光调制器 光刻系统 干涉光刻 声光器件 超声频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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