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上海市科学技术委员会资助项目(04JC14013)

作品数：2 被引量：3H指数：1
相关作者：任杰张卫卢红亮徐敏陈玮更多>>
相关机构：复旦大学更多>>
发文基金：上海市科学技术委员会资助项目国家自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信理学更多>>

领域

  • 7个电子电信
  • 7个一般工业技术
  • 7个理学
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主题

  • 7个淀积
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  • 7个原子层淀积
  • 7个制备金属
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  • 3个氮原子
  • 3个导体
  • 3个导通
  • 3个导通电阻
  • 3个等离子
  • 3个等离子体
  • 3个低压

机构

  • 7个复旦大学
  • 3个北京理工大学
  • 1个北京大学
  • 1个同济大学
  • 1个上海大学
  • 1个河北科技大学
  • 1个中国人民解放...

资助

  • 7个国家自然科学...
  • 7个上海市科学技...
  • 5个国家高技术研...
  • 5个中国博士后科...
  • 3个国家教育部博...
  • 2个高等学校骨干...
  • 2个国家科技重大...
  • 2个教育部高等学...
  • 2个上海-AM基...
  • 2个上海市浦江人...
  • 1个国防基础科研...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个教育部科学技...
  • 1个上海市自然科...
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  • 1个国家重点实验...
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  • 1个河北省科技计...
  • 1个河北省自然科...
  • 1个教育部“新世...

传媒

  • 7个功能材料
  • 6个物理学报
  • 6个无机材料学报
  • 6个全国工程电介...
  • 5个Journa...
  • 5个化学学报
  • 4个高等学校化学...
  • 4个无机化学学报
  • 4个微电子学
  • 4个第十届全国工...
  • 3个半导体技术
  • 3个高技术通讯
  • 3个材料研究学报
  • 3个人工晶体学报
  • 3个固体电子学研...
  • 3个微细加工技术
  • 3个自然科学进展...
  • 2个稀土
  • 2个科学通报
  • 2个化学通报

地区

  • 6个上海市
  • 1个北京市
共 7 条 记 录，以下是 1-7
陈玮
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 快闪存储器 沉积厚度 介质薄膜 纳米晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张卫
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐敏
供职机构：复旦大学
研究主题：偏折 电子设备 精密测量技术 增强型 沟道
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢红亮
供职机构：复旦大学
研究主题：铜互连 原子层淀积 扩散阻挡层 纳米材料 电镀铜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任杰
供职机构：北京大学
研究主题：密度泛函理论 密度泛函理论研究 原子层淀积 反应机理 电子结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张剑云
供职机构：复旦大学
研究主题：化学气相淀积 金刚石 相图 热力学 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王季陶
供职机构：复旦大学
研究主题：金刚石 相图 化学气相淀积 低压 热力学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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